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D07-7型C类 气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1199 | 时间2013/7/29 18:05:03
商品简介
 
D07-7型C类 质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7B型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体
的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、
制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa


输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V


产品技术指标
满量程流量范围（N2） 5SCCM～10SLM
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭）
准确度 ±1.5％F.S.
线性 ±0.5～1.5％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤7sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 0.1～0.5MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
通道湿材料 316L不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
动密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择  
 
VCR 1/4”
双卡套1/4”或φ6、φ3
抗电磁干扰 CE
重量 1.1Kg
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