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D07-7BM型 气体质量流量计
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1212 | 时间2013/7/29 18:06:08
商品简介
 
D07-7BM型质量流量计 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC
 ★7M型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长 用途: 质量流量计（MFM）用于对
气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、
冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA

输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 5SCCM～10SLM
控制范围 2～100％F.S.
准确度 ±1.5％F.S.
线性 ±（0.5～1.5）％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤7sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 ＜0.01MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8SCCSHe
密封材料 氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式 DB15 pin(Male)
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
双卡套 1/4”或φ3、φ6mm
重量 0.92kg
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