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CS200-A型 数字式气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1151 | 时间2013/7/29 18:10:34
商品简介
 
高性价比产品， 高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm ，橡胶密封，
通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet

 

详细参数
 
产品型号 CS200-A
量程(N2) ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0～1,2,3,5,10,20,50)SLM
精度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% FS
响应时间 ≤1sec
阀类型 Normally Closed or Normally Open
温度系数 Zer ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃
零点漂移指标 ＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度 25µinch
工作环境温度 （5～45）℃
输入信号 Digital:RS485/DeviceNet/Profibus
Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA<
模拟流量输出信号 0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号 0-5V和4-20mA
电源要求 ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA)
电气连接 D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus
工作压差范围 (0.05～0.35) MPa （≤10slm）
(0.1～0.35) MPa（20slm, 30slm）
(0.2～0.45) MPa（50slm）
最大耐压 3MPa
漏率 1×10-9atm·cc / sec He（1×10-10 Pa·m3 / sec He）
密封材料 氟橡胶Viton
接头尺寸 VCR1/4” M；双卡套Φ3、Φ6、Φ10、1/4”、1/8”
重量 1kg
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