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CS200-C型 数字式气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1208 | 时间2013/7/29 18:11:34
商品简介
 
高质量金属表面产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，
表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；
钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，
通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet

 

详细参数
 
产品型号 CS200-C
量程(N2) ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
精度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% FS
响应时间 ≤0.8 sec
阀类型 Normally Closed or Normally Open
温度系数 Zero ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃
零点漂移指标 ＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度 10 µinch
工作环境温度 （0～50）℃
输入信号 Digital:RS485/DeviceNet/Profibus
Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA
模拟流量输出信号 0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号 0-5V和4-20mA
电源要求 ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA)
电气连接

D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male

DeviceNet male+Analog Output，Profibus
工作压差范围 (0.05～0.35) Mpa（≤10slm）
(0.1～0.35) Mpa（>10slm）
最大耐压 3MPa
漏率 1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He）
密封材料 Metal,Stainless Steel VV, 5Ra
表面化学成分 Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20
接头尺寸 VCR1/4” M
双卡套Φ6，双卡套1/4”
W-seal，C-seal
重量 1.2kg

 
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