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D07-19C型 气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1113 | 时间2013/7/29 18:17:49
商品简介
 
D07-19C型质量流量控制器 ★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容
用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、
分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 5SCCM～5SLM
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（阀初始状态） 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭）
准确度 ≤10SLM ±0.5～1％F.S.
＞10SLM ±2％F.S.
线性 ≤10SLM ±0.5～1％F.S.
＞10SLM ±2％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
温度系数 Zero:≤±0.1%F.S./℃
Span:≤±0.2%F.S./℃
响应时间 ≤1sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 ≤10SLM 0.1～0.5MPa
＞10SLM 0.1～0.3MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-9SCCSHe
密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
双卡套 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
抗电磁干扰 CE
重量 1.2kg
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