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D07-15型 气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1466 | 时间2013/7/29 18:32:00
商品简介
 
D07-15型质量流量控制器 ★高稳流型 ★小体积，低波动 ★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用P20金手指插头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密
地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、
分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 5SCCM～5SLM
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（阀初始状态） 电磁调节阀（常闭）
准确度 ±1％F.S.
线性 ±0.5～1％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 1～4sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 0.1～0.3MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8SCCSHe
通道湿材料 316L不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
动密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择 Swagelok 1/4”或φ3、φ6mm
重量 2.6kg
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