D07-60B型 气体质量流量控制器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1546 | 时间2013/7/29 18:33:56 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
商品简介
D07-60B型 质量流量控制器 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、
模拟电路的MFC ★国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量
流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、
光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等业。
详细参数
标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V 产品技术指标
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