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D07-60G型 气体质量流量控制器
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1463 | 时间2013/7/29 18:36:15
商品简介
 
D07-60G型 质量流量控制器 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、
模拟电路的MFC ★国际标准机械接头 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量
流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、
光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………24V,400mA

输入设定电压…………(4~20)mA or (1～5)V

输出电压检测…………(4~20)mA or (1～5)V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 300SLM～2000SLM
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（阀初始状态） 先导阀
准确度 ±2％F.S.
线性 ±(0.5～2)％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤20sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差范围 （0.2～0.5Mpa (≤1000SLM)
（0.3～0.5Mpa (＞1000SLM)
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8SCCSHe
密封材料 氟橡胶；氯丁橡胶
接头选择 法兰 根据用户要求设计
双卡套 1/2”或φ10mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
重量 6kg
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