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D07-60GM型 气体质量流量计
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1692 | 时间2013/7/29 18:40:22
商品简介
 
D07-60GM型 质量流量计 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、
模拟电路的MFM ★国际标准机械接头 用途: 质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量
进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼
、分析测量仪器、制气配气等行业。

 

详细参数
 

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………24V,100mA

输出电压检测…………(4～20)mA;(1~5)V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 300SLM～2000SLM
控制范围 2～100％F.S.
准确度 ±2％F.S.
线性 ±(0.5～2)％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤4sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 ＜0.02MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8SCCSHe
密封材料 氟橡胶、氯丁橡胶
接头选择 法兰 根据用户要求设计
双卡套 1/2”或φ10mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
重量 5Kg
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