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D07-9EM型 气体质量流量计
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数1580 | 时间2013/7/29 18:43:13
 商品简介
D07-9EM型质量流量计 ★大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFM ★分流器不易堵塞
 ★国际标准接头 用途: 质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。
 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、
制气配气等行业。

 

 

详细参数

标准:

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA

输出电压检测…………0～+5.00V

产品技术指标
满量程流量范围（N2) 20SLM～250SLM
控制范围 2～100％F.S.
准确度 ±2％F.S.
线性 ±（0.5～2）％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 1～4sec
工作温度范围 5～15℃
工作压差 20～100SLM ＜0.02MPa
＞100SLM ＜0.05MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8SCCSHe
密封材料 氟橡胶、氯丁橡胶
接头选择 VCR 1/2”
双卡套 1/2”、1/4”、3/8”或φ6、φ8、φ10mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
重量 1.6Kg
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