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D60-1A/ ZM数字毛细管流量测试仪
微电子工业用气体流量计 | 浏览次数978 | 时间2013/7/29 19:01:45
商品简介
 
用于测量毛细管或其它小孔零件的流通能力。

 

详细参数
 
指标 Specifications
流量测量范围 0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM Flow range
 
流量测量范围 ±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）		 Accuracy of flow
压力测量范围 0~1.5 MPa Pressure range
压力测量精度 0.1%FS Accuracy of pressure
系统单点漏率 1×10-7SCCS He Leak integrity
供电电源 ~220VAC±10% Power supply
最大功耗 15 W Max consumption
外形尺寸 440×260×260mm Dimension
重量 8 Kg Weight
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